日本三丰CNC三坐(zuò)标测量机LEGEX

实现超高精度和高速驱动的日本三丰CNC三坐(zuò)标测量机LEGEX

    随着近年来机床加工精度的迅速提高，工件的测量精度也达到了前所未有(yǒu)的新(xīn)高度。為(wèi)满足测量仪器用(yòng)户的需求，测量精度等级也正在从微米级向亚微米级，甚至纳米级发展。

面对这种挑战，三丰开发出LEGEX系列超高精度三坐(zuò)标测量机，并作為(wèi)下一代三坐(zuò)标测量机的一种尝试投放市场。以下将结合LEGEX系列产品的规格和性能(néng)特点，对LEGEX开发过程中使用(yòng)的一些基本技术进行介绍。

如何实现超高精度
   1 基本结构
     為(wèi)确保测量精度，采用(yòng)固定桥式•可(kě)移动式工作台，以最大限度地减少阿贝偏置误差。同时采用(yòng)FEM分(fēn)析，从而确保实现最佳产品结构。
   2 長(cháng)度测量技术

     作為(wèi)長(cháng)度测量系统的3个基准轴上搭载了最小(xiǎo)分(fēn)辨率0.01μm的新(xīn)开发的線(xiàn)性编码器系统，和具有(yǒu)0.01x10-6/oC超低線(xiàn)性膨胀系数的晶體(tǐ)玻璃尺。因為(wèi)晶      體(tǐ)玻璃尺的热膨胀系数几乎為(wèi)0，并且相当耐热，从而确保能(néng)够实现超高精度。在图2中图示出其检测原理(lǐ)。

   3 驱动部
     通过实现“中心驱动”—即将各轴的驱动单元配置在各轴滑架的近似重心的位置上，从而减少了在加速和减速过程中产生的惯性而提高了动态精度。
   4 防振技术
     • 内部振动
     三丰凭借其特有(yǒu)的高刚性低振动空气轴承，并且有(yǒu)效地对各轴電(diàn)机和导轨这两个主要内部振动源进行了震动缓冲，成功实现了高精度、高稳定性导向。
     • 外部震动
     為(wèi)防止安装场所的地面震动对精度产生不利影响，三丰在机器底座的重力中心位置安装了带有(yǒu)自动调水平功能(néng)的空气减震弹簧防震台。这种技术可(kě)有(yǒu)效      消除外部震动，确保实现稳定的精度。
   5 测头技术
     MTP2000是专為(wèi)超高精度测量开发的接触式触发测头。MPP300则可(kě)实现高精度扫描测量和高精度点测量。

以上简要介绍了LEGEX系列超高精度三坐(zuò)标测量机的主要规格和关键技术。今后，三丰将进一步提高技术水平，努力开发更多(duō)具有(yǒu)更高性能(néng)、更多(duō)功能(néng)的产品。